天锡小说网

第一八二六章 不要轻视尼康公司（第1页）

“董事长，尼康方面要是请我们帮忙为dSp-100升级双工作台系统，我们是否答应？”

去年2月，尼康方面花钱请bSEc为NSR-S308F干式光刻机升级相匹配的双工作台系统。

在攻克193nm波长的世界性光学难题上，bSEc、GcA和ASmL最后走的是134nm波长的浸润式技术，Nikon和canon走的是157nm波长的干式技术。

按照当初同尼康公司签订的授权技术专利的许可合同，bSEc没有责任和义务专门为尼康公司的NSR-S308F干式光刻机，升级相匹配的磁悬浮式双工作台系统。

孙董事长没有同意！

“魏总，不要答应！”

“好的，董事长！”

1993年7月，在孙健的“指引”下，邓国辉院士挂帅，钟德伟教授和夏季常教授担任副组长的联合攻关组，研制成功为光刻机配套的世界首套磁悬浮式双工作台系统（包括硬件和软件），原理是二个平台交替工作，一个平台在做晶圆曝光时，另一个平台做量测、矫正等后续任务，然后二个平台交换位置，整个过程在一个小时内重复225次，能提高晶圆生产效率35%，这项世界首创的发明专利属于前世三大光刻机核心专利技术之一。

通过多次升级，如今一个小时内达到了285次。

孙健没有藏着掖着，bSEc当时对外公开承诺，等拿到公司发明专利后，向全球光刻机公司许可技术专利。

在18个月的漫长等待后，1995年2月，bSEc获得欧美、日本和韩国等国专利局授予的公司发明专利后，按照当初的承诺，分别同ASmL、Nikon和canon等签订许可合同，授权技术专利；专利使用费相当于每台光刻机售价的1%。

从此，bSEc有了名气，也有了吃饭的本钱！

精明的孙健不会做一锤子买卖！

bSEc当初没有向尼康等公司转让这项技术专利，专利权仍归bSEc所有，被授权人仅获得在约定范围内使用该专利的权利。

许可合同规定，由bSEc统一升级。

许可合同还规定，被授权人未按时支付专利使用费、私自升级等侵权行为和违反使用范围约定等情况，bSEc有权按照许可合同约定收回专利授权。

1993年8月，GcA同bSEc签订了磁悬浮式双工作台系统专利和ArF准分子激光器专利互换协定，都有对方软件的源代码，可以自行升级，GcA不需要支付双工作台的专利使用费。

GcA多次升级的双工作台系统专利还属于bSEc所用。

孙健从夏季常院士的口中得知，双工作台的核心技术是如何精准控制、加速度、避免震动、避免发热等方面？

1996年9月，ASmL也研发成功全球第二种双工作台技术，如今还落后bSEc二代，ASmL量产的twINScANNxt1400i上使用还是bSEc许可的最新一代磁悬浮双工作台系统。

前世，ASmL就是靠自己独创的光刻机双工作台技术和浸没式光刻机打败了全球光刻机老大尼康公司！

EUV光刻机锦上添花，完胜尼康公司。