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第一七四四章 nm半导体生产线量产（第2页）

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duo、athlon

x2，

孙健也没有资格和胆量挑战美国的权威，不然他和家人就不要出国了。

去年6月17日，京城半导体集团（bsec）公开宣布，旗下的京城光刻机研究院经过近十年的研发，研发成功全球第一款65nm制程工艺浸没式光刻机twinscan

bnt:2250i，将在中国专利局和国际专利局申请多项公司发明专利，面向全球供货，统一售价1500万美元。

孙健亲自向intel总裁欧德宁和amd总裁梅德克发出邀请，两家不打算使用这条65nm半导体生产线生产最新一代的cpu：core

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duo和athlon

x2，出于礼节，分别派gca的董事阿密特和阿尔特曼前来现场祝贺。

公开告诉全球芯片研发公司，pgca这条65nm半导体生产线不仅为国智半导体集团和曙光通讯集团生产最新一代的电脑和手机cpu等核心部件，也愿意为intel、amd、nvidia、ati、3dfx等全球芯片研发企业生产最新一代的cpu、gpu等核心部件。

一视同仁！

pgca半导体（鹏城）集团投资17。85亿美元在鹏城高新园区建设的另一条12英寸晶圆、65nm制程工艺的半导体生产线，已经进入设备安装调试阶段，将于9月试生产。

曙光东芝晶圆公司（ttfab）投资18亿美元在浦东新区高科技园区建设的一条65nm制程工艺半导体生产线也将于9月试生产，到年底，国内将有3条65nm制程工艺的半导体生产线量产，对外代工芯片生产，抢先占领国内外65nm制程工艺的芯片代工市场。

去年7月，intel、amd、台联电分别从京城半导体集团定购了一条65nm制程工艺半导体生产线；工程建设进度最快的是台联电，计划于今年11月试生产；intel、amd的生产线计划于明年1月试生产。

京城半导体集团负责65nm制程工艺半导体生产线的设备安装调试和人员培训，知道每家的进度。

去年12月，asml虽然宣传研发成功xt

1400i浸没式光刻机，但因为侵犯了bsec正在申报的纯净水介质的公司发明专利，由于这项专利到如今还没有得到国际专利局的专利技术证书，bsec也不能授权，xt

1400i浸没式光刻机也不敢量产，如今处于停滞状态。

gca拥有euv激光器研发成功和

euv原型机，借助于bsec浸没式光刻机的技术，于今年1月，研发成功gca

65nm制程工艺的浸没式光刻机twinscan

gnt:2450i。

去年12月，nikon研发成功全球第一台157nm干式光刻机试验机，展示了nikon在光学技术和光刻机系统研发方面的强大实力，有助于巩固其在半导体光刻设备领域的地位，吸引更多芯片制造企业的关注和合作；还没有听说nikon

65nm干式光刻机量产的消息。

（本章完）